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Patent Information


Title
マスキング機構及びそれを備えた成膜装置 
Author
HIDEOMI KOINUMA, YUJI MATSUMOTO.  
Kind
Patent 
Status
Published 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, 独立行政法人科学技術振興機構.  
Filing Date
2004/08/30
Application Number
特願2004-251151
Unexamined Application Date
2006/03/09
Publication Number
特開2006-063433

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