Tokyo Tech Research Repository (T2R2)

Patent Information

Title

エピタキシャル膜、圧電体素子、強誘電体素子、これらの製造方法及び液体吐出ヘッド

Author

HIROSHI FUNAKUBO.

Kind

Patent

Status

Published

Applicant

国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.

Filing Date

2008/03/25

Application Number

特願2008-077627

Unexamined Application Date

2008/11/13

Publication Number

特開2008-277783

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