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Patent Information


Title
マスク製造装置、マスク製造方法 
Author
AKIHIKO TANIOKA.  
Kind
Patent 
Status
Registered 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, パナソニック株式会社.  
Filing Date
2008/06/03
Application Number
特願2008-145870
Unexamined Application Date
2009/12/17
Publication Number
特開2009-291306
Registration Date
2012/06/15
Registration Number
特許第5013485号

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