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Patent Information


Title
微細素子およびその製造方法 
Author
Kazuya Masu, Masato Sone, Tso-Fu Mark Chang, Chun Yi Chen, Daisuke Yamane.  
Kind
Patent 
Status
Registered 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, エヌ・ティ・ティ・アドバンステクノロジ株式会社.  
Filing Date
2017/03/22
Application Number
特願2017-055730
Unexamined Application Date
2018/10/11
Publication Number
特開2018-158394
Registration Date
2021/01/05
Registration Number
特許第6818299号

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