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Patent Information


Title
バリウムおよびストロンチウムを含む珪化物薄膜及びその製造方法 
Author
HIROSHI FUNAKUBO, TakaoShimizu, Kodai Aoyama.  
Kind
Patent 
Status
Registered 
Applicant
国立大学法人東京工業大学, 東ソー株式会社.  
Filing Date
2019/09/03
Application Number
特願2019-160314
Unexamined Application Date
2021/03/11
Publication Number
特開2021-038433
Registration Date
2024/04/17
Registration Number
特許第7474434号
Note
権利存続

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