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Patent Information


Title
パターン形成方法、及びプラズマ処理方法 
Author
Takanori Fukushima, Yoshiaki Shoji, Takashi Kajitani, Hibiki Ogiwara.  
Kind
Patent 
Status
Registered 
Applicant
国立大学法人東京科学大学, 東京エレクトロン株式会社.  
Filing Date
2022/06/27
Application Number
特願2023-533544
Registration Date
2026/05/12
Registration Number
特許第7862779号

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