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特許情報


発明の名称
表面処理装置 
発明者
堀田栄喜, 清水　尚博, 今西　雄一郎.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本碍子株式会社.  
出願日
2007/03/16
出願番号
特願2007-068908
公開日
2008/09/18
公開番号
特開2008-218369
登録日
2010/10/15
登録番号
特許第4608511号

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