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特許情報


発明の名称
電解分布又はキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置及びその検出方法 
発明者
岩本光正, 間中孝彰.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2007/03/08
出願番号
特願2007-058219
公開日
2008/09/18
公開番号
特開2008-218957
登録日
2012/10/19
登録番号
特許第5109123号

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