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特許情報


発明の名称
ポジ型感光性樹脂組成物、その製造方法、及びレリーフパターンの形成方法 
発明者
上田充, 福川　健一, 池田　章彦, 花畑　博之.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭化成イーマテリアルズ株式会社.  
出願日
2005/09/30
出願番号
特願2005-286893
公開日
2007/04/12
公開番号
特開2007-094317
登録日
2010/12/17
登録番号
特許第4646068号

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