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特許情報


発明の名称
高解像度パターン転写方法 
発明者
天谷賢治.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2005/10/14
出願番号
特願2006-543078
公開日
2008/05/22
公開番号
再表2006/046475
登録日
2007/05/11
登録番号
特許第3950981号

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