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特許情報


発明の名称
ポリイミド前駆体組成物、ポリイミド膜の製造方法及び半導体装置 
発明者
上田充, 福川　健一, 小倉　知士, 土井　一郎, 花畑　博之.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭化成エレクトロニクス株式会社.  
出願日
2005/08/26
出願番号
特願2005-245463
公開日
2007/03/08
公開番号
特開2007-056196

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