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特許情報


発明の名称
マイクロメカニカル接合方法 
発明者
鈴村暁男, 池庄司敏孝, 野田 卓哉, 山﨑敬久.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2007/05/08
出願番号
特願2007-123463
公開日
2008/11/20
公開番号
特開2008-282573

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