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特許情報


発明の名称
複数波長による表面形状の測定方法およびこれを用いた装置 
発明者
杉山将, 北川　克一　, 小川　英光, 鈴木　一嘉.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東レエンジニアリング株式会社.  
出願日
2008/01/17
出願番号
特願2008-008233
公開日
2008/09/11
公開番号
特開2008-209404
登録日
2011/12/16
登録番号
特許第4885154号

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