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特許情報


発明の名称
酸化物膜を用いた薄膜トランジスタの製造方法 
発明者
細野秀雄, 野村　研二, 神谷利夫, 藪田　久人, 佐野　政史, 岩崎　達哉.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.  
出願日
2012/03/15
出願番号
特願2012-058163
公開日
2012/06/28
公開番号
特開2012-124532

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