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特許情報


発明の名称
結晶性酸化亜鉛（ZnO)薄膜の形成方法 
発明者
吉本護.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2004/08/31
出願番号
特願2004-251818
公開日
2006/03/16
公開番号
特開2006-073579

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