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特許情報


発明の名称
微粒子配列薄膜の作製方法 
発明者
北本仁孝, 黒石 和哉.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2004/09/16
出願番号
特願2004-269856
公開日
2006/03/30
公開番号
特開2006-082182
備考
審査未請求取下

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