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特許情報
発明の名称
SrRuO3膜の製法と得られる膜
発明者
舟窪浩
, 加茂 嵩史, 西田 謙.
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学, フルウチ化学株式会社.
出願日
2007/03/26
出願番号
特願2007-080184
公開日
2008/10/09
公開番号
特開2008-240040
登録日
2011/11/11
登録番号
特許第4858912号
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