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特許情報


発明の名称
光塩基発生剤およびネガ型感光性樹脂組成物 
発明者
上田充, 芝崎祐二, 小倉　知士, 劉　金剛, 池田　章彦.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 旭化成エレクトロニクス株式会社.  
出願日
2007/07/12
出願番号
特願2007-182797
公開日
2009/01/29
公開番号
特開2009-019113

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