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特許情報


発明の名称
プラズマから極端紫外光を発生する光源 
発明者
堀岡一彦, マスナヴィ マジッド, 堀田栄喜.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2006/04/28
出願番号
特願2007-528244
公開日
2008/12/08
公開番号
再表2006/120942
登録日
2012/10/26
登録番号
特許第5114711号

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