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特許情報


発明の名称
プラズマ源、処理装置及び処理方法 
発明者
沖野晃俊, 宮原　秀一, 堀田栄喜, 鐘ヶ江　正巳.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, リバーベル株式会社.  
出願日
2006/08/07
出願番号
特願2006-214332
公開日
2008/02/21
公開番号
特開2008-041429
備考
審査未請求取下

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