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特許情報


発明の名称
金属チタン酸塩薄膜前駆体組成物およびこれを用いる金属チタン酸塩薄膜の形成方法 
発明者
吉村昌弘, 我田　元, Ｒｕｗａｎ　ＧＡＬＬＡＧＥ, 坂元　尚紀, 渡辺友亮, 松下伸広, 藤原　武, 荒木　俊二, 武田　光生, 荒川　元博, 森　弓子.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社日本触媒.  
出願日
2007/09/21
出願番号
特願2007-245864
公開日
2009/04/09
公開番号
特開2009-073705

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