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特許情報


発明の名称
表面形状の測定方法およびこれを用いた装置 
発明者
杉山将, 小川　英光, 北川　克一, 鈴木　一嘉.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東レエンジニアリング株式会社.  
出願日
2007/01/26
出願番号
特願2007-556840
公開日
2009/06/25
公開番号
再表2007/088789
登録日
2011/04/01
登録番号
特許第4710078号

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