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特許情報


発明の名称
炭化珪素半導体装置の製造方法 
発明者
徳光永輔, 守谷　仁, 日野　史郎, 三浦　成久, 大森　達夫.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2008/08/28
出願番号
特願2008-219554
公開日
2010/03/11
公開番号
特開2010-056285
登録日
2013/08/23
登録番号
特許第5344873号
備考
　

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