Home >

news ヘルプ

特許情報


発明の名称
表面形状および/または膜厚測定方法およびその装置 
発明者
杉山将, 内藤　卓人, 小川　英光, 北川　克一, 鈴木　一嘉.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東レエンジニアリング株式会社.  
出願日
2008/09/03
出願番号
特願2008-226128
公開日
2010/03/18
公開番号
特開2010-060420

©2007 Institute of Science Tokyo All rights reserved.