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特許情報


発明の名称
プラズマ光源とプラズマ光発生方法 
発明者
堀岡一彦, 桑原　一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社ＩＨＩ.  
出願日
2008/12/18
出願番号
特願2008-322526
公開日
2010/07/01
公開番号
特開2010-147231
登録日
2014/02/21
登録番号
特許第5479723号

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