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特許情報


発明の名称
表面形状測定方法およびこれを用いた装置 
発明者
杉山将, 横田　達也, 小川　英光, 北川　克一, 鈴木　一嘉.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 東レエンジニアリング株式会社.  
出願日
2009/02/13
出願番号
特願2009-031719
公開日
2010/08/26
公開番号
特開2010-185844

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