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特許情報


発明の名称
プラズマ発生方法およびこのプラズマ発生方法を用いた極端紫外光光源装置 
発明者
細貝　知直, 堀田栄喜, 堀岡一彦, 横山　拓馬.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ウシオ電機株式会社.  
出願日
2009/03/05
出願番号
特願2009-051968
公開日
2010/09/16
公開番号
特開2010-205651
備考
審査未請求取下

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