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特許情報


発明の名称
炭素膜製造装置、および炭素膜の製造方法 
発明者
平田敦, バーエズ タガビー ハメド.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2009/06/03
出願番号
特願2009-134304
公開日
2010/12/16
公開番号
特開2010-280937

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