Home >

news ヘルプ

特許情報


発明の名称
半導体装置の製造方法 
発明者
酒井徹志, 岡　秀明, 加藤　樹里, 原　寿樹, 金本　啓.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, セイコーエプソン株式会社.  
出願日
2005/07/22
出願番号
特願2005-212747
公開日
2007/02/08
公開番号
特開2007-035701
登録日
2011/04/22
登録番号
特許第4726120号

©2007 Tokyo Institute of Technology All rights reserved.