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特許情報


発明の名称
マイクロメカニカル接合方法 
発明者
鈴村暁男, 下嶽　光一, 池庄司敏孝, 山崎　敬久.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2009/10/29
出願番号
特願2009-249169
公開日
2011/05/12
公開番号
特開2011-096508

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