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特許情報


発明の名称
プラズマを用いたサンプリング法およびサンプリング装置 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一, 永田　洋一, 重田　香織, 岩井貴弘, 高橋　勇一郎.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2009/12/28
出願番号
特願2009-298462
公開日
2011/07/14
公開番号
特開2011-137740
登録日
2014/07/25
登録番号
特許第5581477号
備考
権利存続

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