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特許情報


発明の名称
集束イオンビームを用いる微細部位解析装置 
発明者
藤井正明, 石内俊一, 坂本　哲夫, 林　俊一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 新日本製鐵株式会社.  
出願日
2006/08/03
出願番号
特願2006-212399
公開日
2008/02/21
公開番号
特開2008-039521
登録日
2011/07/22
登録番号
特許第4785193号

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