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特許情報


発明の名称
微細構造を有する基板の接合方法および当該接合方法を利用したマイクロ流体デバイスの製造方法 
発明者
山本貴富喜.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2010/01/19
出願番号
特願2010-008956
公開日
2011/08/04
公開番号
特開2011-148104
登録日
2014/04/11
登録番号
特許第5516954号

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