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特許情報


発明の名称
ナノワイヤトランジスタ及びその製造方法 
発明者
角嶋邦之, 岩井洋, アヘメト パールハット, 佐藤　創志, 山田　啓作, 大毛利　健治.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 学校法人早稲田大学.  
出願日
2010/03/31
出願番号
特願2010-079971
公開日
2011/10/20
公開番号
特開2011-211126

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