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特許情報


発明の名称
イオンビーム照射位置決め装置 
発明者
藤井正明, 坂本　哲夫, 藤岡　幸平, 柏木　隆宏.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 学校法人工学院大学, 株式会社トヤマ.  
出願日
2010/04/23
出願番号
特願2010-099870
公開日
2011/11/17
公開番号
特開2011-233249

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