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特許情報


発明の名称
プラズマ装置 
発明者
沖野晃俊, 宮原秀一, 市川　正紀, 佐々木良太, 山崎　正太郎, 平位　英之.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2010/06/03
出願番号
特願2010-127711
公開日
2011/12/15
公開番号
特開2011-253754
登録日
2014/11/14
登録番号
特許第5645157号

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