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特許情報


発明の名称
電界分布またはキャリア分布を高次高調波の強度に基づいて検出する検出装置 
発明者
岩本光正, 間中孝彰, 田口　大, 京増　幹雄, 烏田　哲州, 榊原　正毅, 高橋　文博.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, プレサイスゲージ株式会社.  
出願日
2010/08/04
出願番号
特願2010-175396
公開日
2012/02/23
公開番号
特開2012-038805

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