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特許情報


発明の名称
電界効果型トランジスタの製造方法  
発明者
細野秀雄, 野村研二, 神谷利夫, 藪田　久人, 佐野　政史, 岩崎　達哉.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社.  
出願日
2012/03/15
出願番号
特願2012-058252
公開日
2012/08/30
公開番号
特開2012-164986
登録日
2013/11/01
登録番号
特許第5401572号

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