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特許情報


発明の名称
ナノインプリント用モールド及びその製造方法、並びにナノインプリント用モールドを用いた材料の加工方法 
発明者
渡邊順次, 西村　涼, 關　隆史.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＪＸ日鉱日石エネルギー株式会社.  
出願日
2012/11/05
出願番号
特願2012-243638
公開日
2013/04/11
公開番号
特開2013-063661
登録日
2014/05/09
登録番号
特許第5531248号

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