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特許情報


発明の名称
反射光強度測定用積層構造体、反射光測定用積層構造体を含んでなる装置、並びに薄膜の膜厚及び／又は質量及び／又は粘度測定方法 
発明者
川崎剛美, 岡畑惠雄.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2011/03/10
出願番号
特願2012-504518
公開日
2013/06/27
公開番号
特開（再表）2011/111785

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