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特許情報


発明の名称
MOS構造の製造方法 
発明者
徳光永輔, 原田 裕一.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 日本電信電話株式会社.  
出願日
2012/02/10
出願番号
特願2012-026957
公開日
2013/08/22
公開番号
特開2013-165144
備考
 

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