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特許情報


発明の名称
レンズ駆動システムおよびレーザ加工装置 
発明者
進士忠彦, 中井　孝洋.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱電機株式会社.  
出願日
2012/03/29
出願番号
特願2012-076158
公開日
2013/10/07
公開番号
特開2013-199601
登録日
2014/11/07
登録番号
特許第5642104号

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