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特許情報


発明の名称
成膜処理方法および薄膜付物品の製造方法 
発明者
鈴村暁男, 池庄司敏孝, 井本明子, 香取真奈, 坂本　将紘, 崎道　哲.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社デンソー.  
出願日
2012/11/29
出願番号
特願2012-261394
公開日
2014/06/09
公開番号
特開2014-105377
登録日
2016/08/19
登録番号
特許第5987657号

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