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特許情報


発明の名称
プラズマ光源 
発明者
堀岡一彦, 増田政史, 桑原　一.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 株式会社ＩＨＩ.  
出願日
2013/06/03
出願番号
特願2013-116727
公開日
2014/12/15
公開番号
特開2014-235886
登録日
2017/03/17
登録番号
特許第6111145号

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