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特許情報


発明の名称
非鉛誘電体薄膜形成用液組成物及びその薄膜の形成方法並びにその方法で形成された非鉛誘電体薄膜 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 木村純一, 桜井　英章, 藤井　順, 曽山　信幸.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, 三菱マテリアル株式会社.  
出願日
2014/08/27
出願番号
特願2014-172543
公開日
2015/06/11
公開番号
特開2015-107904
備考
未審取下

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