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特許情報


発明の名称
強誘電体薄膜の製造方法 
発明者
舟窪浩, 島田　幹夫, 饗場　利明, 伊福　俊博, 林　潤平, 久保田　純, 島川　祐一, 東　正樹, 中村　嘉孝.  
種別
特許 
状態
登録 
出願人
国立大学法人東京工業大学, キヤノン株式会社, 国立大学法人京都大学.  
出願日
2010/09/29
出願番号
特願2010-218892
公開日
2011/05/12
公開番号
特開2011-093788
登録日
2015/10/23
登録番号
特許第5826476号

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