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特許情報


発明の名称
金属窒化物生成装置及び金属窒化物生成方法 
発明者
全俊豪.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2017/06/01
出願番号
特願2017-109411
公開日
2018/12/27
公開番号
特開2018-203560

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