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特許情報
発明の名称
テラヘルツ検出センサ及びテラヘルツ画像測定装置
発明者
河野行雄
.
種別
特許
状態
登録
出願人
国立大学法人東京工業大学.
出願日
2016/12/14
出願番号
特願2017-556092
公開日
2018/10/04
公開番号
再表2017/104697
登録日
2020/08/28
登録番号
特許第6755590号
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