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特許情報


発明の名称
圧電薄膜、圧電薄膜素子、圧電アクチュエータ、圧電センサ、ヘッドアセンブリ、ヘッドスタックアセンブリ、ハードディスクドライブ、プリンタヘッド、及びインクジェットプリンタ装置 
発明者
舟窪浩, 清水荘雄, 根本祐一, 佐藤　祐介　, 森下　純平　, 佐藤　和希子.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学, ＴＤＫ株式会社.  
出願日
2017/10/25
出願番号
特願2017-206190
公開日
2019/05/23
公開番号
特開2019-079948

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