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特許情報


発明の名称
マグネトロンスパッタガン及びマグネトロンスパッタ薄膜作製装置 
発明者
春本高志, 史蹟, 中村吉男.  
種別
特許 
状態
公開 
出願人
国立大学法人東京工業大学.  
出願日
2018/03/19
出願番号
特願2018-050765
公開日
2019/09/26
公開番号
特開2019-163495

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